超高精密运动台

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名称
超高精密运动台
曝光面积
5 nm（可提供0.15nm分辨率）
曝光波长
(5+1000*ΔT*L) nm
分辨力
(5+1000*T*L+A+B) nm
对准精度
80 m
掩模样片整体运动范围
1.5 m/s
掩模尺寸
5/D urad
样片尺寸
(5+1000*ΔT*L)/D urad
曝光方式
(5+1000*T*L+A+B)/D urad
照明不均匀性
±2 mrad（@1m线性范围）
双目双视场对准显微镜
10 rad/s
物镜三对
软件显示或用于反馈控制的AB相输出