单面紫外光刻机

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  • 产品参数
名称
单面紫外光刻机
曝光面积
150mmX150mm
曝光波长
365nm
分辨力
0.8-1m（胶厚2 m的正胶）
对准精度
0. 6m
掩模样片整体运动范围
X：15mm;Y:15mm
掩模尺寸
3英寸、4英寸、5英寸、7英寸
样片尺寸
直径15mm-- 150mm（各种不规则片）                厚度0.1mm--5mm(可拓展至15mm)
曝光方式
定时（倒计时方式），0.1s-9999s
照明不均匀性
2.5%（100mm 范围）                5%（150mm范围）
双目双视场对准显微镜
既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍
物镜三对
4倍、10倍、20倍