三维形貌测量设备

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名称
三维形貌测量设备
曝光面积
3DNM-W50
曝光波长
2048×1536
分辨力
自动
对准精度
6mm
掩模样片整体运动范围
15μm/s
掩模尺寸
650nm（20 倍物镜）