双面紫光光刻机

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名称
双面紫光光刻机
曝光面积
100mm*100mm
曝光波长
365nm
分辨力
0.8-1m（胶厚2 m的正胶）
对准精度
0. 6um
掩模样片整体运动范围
X：15mm;Y:15mm
掩模尺寸
2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
样片尺寸
直径15mm-- 100mm（各种不规则片） 厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)
曝光方式
定时（倒计时方式）和定剂量
照明不均匀性
2.5%（100mm 范围）
双目双视场对准显微镜
既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍数400倍，光学+电子放大800倍
物镜三对
4倍、10倍、20倍；     目镜3对：10倍、16倍、20倍
目镜三对
10倍、16倍、20倍
具备压印模块接口
也具备接近模块接口
掩模相对于样片运动行程
 X: 5mm;   Y: 5mm;  :  6度
最大胶厚
600m（SU8胶，用户提供检测条件）
光源平行性
2º
曝光能量密度
>20mW/cm