测校干涉仪

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名称
测校干涉仪
曝光面积
10 nm（可提供0.15nm分辨率）
曝光波长
(10+1000*ΔT*L) nm
分辨力
(10+1000*T*L+A+B) nm
对准精度
80 m
掩模样片整体运动范围
1.5 m/s
掩模尺寸
0.77 urad
样片尺寸
(10+1000*ΔT*L)/13 urad
曝光方式
(10+1000*T*L+A+B)/13 urad
照明不均匀性
±1°
双目双视场对准显微镜
10 rad/s
物镜三对
软件显示或用于反馈控制的AB相输出